Кислов Н.М. К модели выхода вторичных электронов из металлов и полупроводников при ионной обработке поверхности / Н.М. Кислов, Г.Д. Кузнецов, А.А. Сергиенко // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2004. – №4. – С.63–67
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. №4 / Мин.- во образов. и науки РФ // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – М., 2004
Анотація:
Рассмотрены модельные представления по выходу вторичных электронов из металлов и полупроводников в зависимости от их физических характеристик и параметров технологического процесса ионно-лучевого травления материалов ионами инертных газов.