Герасименко Н.Н. Термооптический контроль состояния поверхности кремния / Н.Н. Герасименко, В.Ю. Троицкий, Ю.Н Пархоменко // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2004. – №4. – С.57–60
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. №4 / Мин.- во образов. и науки РФ // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – М., 2004
Анотація:
Исследованы возможности применения методики термооптического контроля (1-3), используемой в основном для контроля параметров ионного легирования, для изучения состояния поверхности пластин