Верезуб Н.А. Влияние "тигельного" экрана на тепловое поле и распределение ростовых микродефектов в монокристаллах кремния диаметром 200мм / Н.А. Верезуб, М.Г. Мильвидский, А.И. Простомолотов // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2004. – №4. – С.17–21
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. №4 / Мин.- во образов. и науки РФ // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – М., 2004
Анотація:
Выполнено компьютерное моделирование тепловой истории выращивания монокристаллов кремния диаметром 200 мм в тепловом узле с " тигельным" экраном, на основе которой рассчитаны процессы рекомендации вакансий и собственных межузельных атомов вблизи фронта кристаллизации и образования вакансионных микродефектов