Меженный М.В.. Мильвидский М.Г. Особенности гетерогенного зарождения в термообработанных пластинах кремния при приложении внешних нагрузок / М.В.. Мильвидский М.Г. Меженный, В.Я. Резник // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2004. – №4. – С.4–7
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. №4 / Мин.- во образов. и науки РФ // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – М., 2004
Анотація:
Исследованы особенности генерации дислокаций в термообработанных пластинах кремния от внутренних источников, формирующихся в процессе паспада пересыщенного твердого раствора кислорода, а также при приложении внешних нагрузок. Установлены закономерности эволюции дефектной структуры в пластинах при проведении многоступенчатых термообработок.