Вид документа:

Стаття періодики

УДК:

621.315.592:548.4

Смирнов В.В. Определение кристаллографической разориентации в структурах нитридов 111 группы на сапфире и в композициях нитрид-на-нитриде / В.В. Смирнов // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2005. – №2. – С.74–77



Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. №2 / Мин.- во образов. и науки РФ // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – М., 2005


Анотація:
Показана возможность более точного определения составляющих вектора кристаллографической разориентации подложки. Анализ ориентационных соотношений и разориентации в сложных гетероэпитаксиальных системах вкомплексе с оценкой структурного совершенства позволяет реализовать более глубокую диагностику гетероэпитаксиальных слоев