Еремеев А.В. Особенности компенсации кремния глубокими примесями Au и Ni / А.В. Еремеев, Г.Д. Кузнецов, Ю.Ю. Маленков // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2005. – №2. – С.54–58
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. №2 / Мин.- во образов. и науки РФ // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – М., 2005
Анотація:
Задача получения высокоомного кремния большого диаметра с высокими значениями времени релаксации при оптическом возбуждении потребовала исследования особенностей процесса компенсации глубокими примесями