Сирота Н.Н. Пленки алмаза и кубического нитрида бора, наносимые при низких температурах / Н.Н. Сирота // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2005. – №2. – С.14–19
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. №2 / Мин.- во образов. и науки РФ // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – М., 2005
Анотація:
Возможность нанесения пленок алмаза и кубического нитрида бора на различные поверхности изделий представляет первостепенный научный и практический интерес для микроэлектроники и многих областей современной техники