Киреев В.Ю. Влияние аспектного отношения и площади вскрытия на параметры реактивного ионно-плазменного травления структур в монокремнии / В.Ю. Киреев, В.Ю. Пашков, Р.Г. Хакимова // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №3. – С.28–35
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №3 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Исследован процесс реактивного ионно-плазменного травления монокремния в газовой смеси HBr/SF6/He: