Сажнев С.В. Термоконвективный регулятор малых расходов газа для технологического оборудования микроэлектроники / С.В. Сажнев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №2. – С.91–92
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №2 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Современные тенденции в производстве микроэлектронных приборов направлены на индивидуальную обработку в контролируемой газовой среде полупроводниковых пластин в связи с ростом их размера. Поэтому резко возрастают требования к качеству изделия из-за роста стоимости пластин