Громов Д.Г. Оптические и єлектрофизические свойства периодических структур / Д.Г. Громов, Е.Н. Редичев, С.А. Гаврилов // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №2. – С.34–38
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №2 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Исследовано влияние толщин слоев металла и оксида на спектры пропускания и поверхностное сопротивление периодической структуры. Показано, что коэффициент пропускания 5-периодной структуры в 15 раз выше, чем чистой меди эквивалентной толщины. При этом поверхностные сопротивления такой структуры и эквивалентного слоя меди оказываются приблизительно равными и составляют 1-2 Ом. Установлено, что для получения структур с максимальной прозрачностью и минимальным электросопротивлением необходимо оптимизировать как толщину слоев оксида, так и толщину слоев металла