Манжа Н.М. Влияние конструктивных факторов реакторов пониженного давления на неоднородность свойств осаждаемых слоев / Н.М. Манжа // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №2. – С.23–29
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №2 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Экспериментально исследована неоднородность свойств слоев (пиролизного диоксида кремния, нитрида кремния, поликристаллического кремния). Предложены конструкции реакторов, обеспечивающие изотермические и изобарические условия осаждения слоев