Особенности процесса травления окиси кремния и БФСС в травителях на основе НА в системе рециркуляционной фильтрации / И.В. Кирюшина, Л.З. Красавина, А.Д. Просий и др. // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №2. – С.17–23
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №2 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Проведено исследование скорости травления, уровня пивносимой дефектности процесса и накопления ионных примесей в водных травителях на основе разбавленных растворов HF в режиме рециркуляционной фильтрации. Полученные данные позволили установить срок службы растворов на основе HF при обработке пластин диаметром 150 мм