Процессы очистки кремниевых пластин / И.В. Кирюшина, Л.З. Красавина, А.Д. Просий и др. // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №1. – С.53–59
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №1 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Проведено исследование процессов жидкостной химической подготовки пластин в растворах с традиционной рецептурой компонентов и модифицированной рецептурой компонентов в технологическом маршруте изготовления СБИС