Большаков Н.А. Исследование процессов механической обработки монокристаллов кремния связанным абразивом / Н.А. Большаков, А.А. Раскин, Ю.М. Литвинов // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №1. – С.48–52
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №1 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Проведен предварительный анализ процессов калибрования, формирования основного и лополнительного срезов и разрезания монокристаллов кремния диаметром 100 и 150 мм инструментом со связанным абразивом. Показаны пути совершенствования этих технологий и намечены направления дальнейших исследований.
Тема:
- Ключові слова
- напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices
- поверхневі явища в напівпровідниках, поверхностные явления в полупроводниках,
- світлочутливі матеріали, светочувствительные материалы
- фізика напівпровідників, физика полупроводников
- статистичні матеріали, статистические материалы