Манжа Н.М. Влияние конструктивных факторов реакторов пониженного давления на неоднородность свойств осаждаемых слоев / Н.М. Манжа // Известия высших учебных заведений, Электроника. – 2004. – №2. – С.23–29
Складова документа:
Известия высших учебных заведений, Электроника : научно-технический журнал. 2 / МО РФ. МИЭТ. // Известия высших учебных заведений, Электроника. – М. – 2004. – №3
Анотація:
Экспериментально исследована неоднородность свойств слоев (пиролизного диоксида кремния, нитрида кремния, поликристаллического кремния). Предложены конструкции реакторов, обеспечивающие изотермические и изобарические условия осаждения слоев