Большаков Н.А. Исследование процессов механической обработки монокристаллов кремния связанным абразивом / Н.А. Большаков, А.А. Раскин, Ю.М. Литвинов // Известия высших учебных заведений, Электроника. – 2004. – №1. – С.48–52
Складова документа:
Известия высших учебных заведений, Электроника : научно-технический журнал. 1 / МО РФ. МИЭТ. // Известия высших учебных заведений, Электроника. – М. – 2004. – №3
Анотація:
Проведен предварительный анализ процессов калибрования, формирования основного и лополнительного срезов и разрезания монокристаллов кремния диаметром 100 и 150 мм инструментом со связанным абразивом. Показаны пути совершенствования этих технологий и намечены направления дальнейших исследований.