Еремеев А.В. Новая технология получения кремния для СВЧ-устройств / А.В. Еремеев // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2005. – №1. – С.12–17
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники : научный журнал. №1 / Мин.- во образов. и науки РФ // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – М., 2005
Анотація:
Предложено новое направление технологии создания полупроводников- получение кремния для СВЧ-устройств