Исследованы амплитудно-временные и спектральные характеристики лазерного излучения, а также характеристики разряда в смесях SF6 с водородом и углеводородами при высоких эффективностях генерации. При накачке от емкостного и индуктивного накопителей энергии получены КПД, составившие *10% от вложенной энергии. Показано, что во время импульса накачки максимальные эффективности реализуются при высоких значениях параметра E/p на лазерном промежутке. При использовании профилированных электродов и УФ предыонизации получены удельная энергия излучения нецепного HF-лазера 140 Дж.л{-1.атм^{-1 и эффективность генерации от запасенной энергии *4.5%. Показано, что спектр генерации нецепного HF-лазера в режиме высоких КПД существенно расширяется и реализуется каскадная генерация на колебательных переходах vvh(3-2h)tovvh(2-1h)tovvh(1-0h) на ряде вращательных линий.