Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №6 / М-во образ. РФ.МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Статистика використання: Видач: 0
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал / М-во образования РФ; МИЭТ. – Москва
Статтi:
Использование эффекта понижения температуры плавления тонких пленок меди в процессе заполнения канавок и контактных окон для технологии многоуровневой металлизации кремниевых ИС
Классификация и конструктивно-технологические особенности мощных приборов для интеллектуальных силовых интегральных схем