Создан рентгеновский предыонизатор с плотностью энергии в электронном пучке 0.1 Дж/см2 для импульсно-периодических газовых лазеров на основе высоковольтного (20 — 40 кВ) тлеющего разряда низкого давления. Приведены результаты расчетов концентрации электронов в смеси СО2 — N2 — Не для титановой и других фольг в зависимости от напряжения на предыонизаторе. Предыонизатор может работать как в моноимпульсном режиме, так и в режиме с частотами повторения до сотен герц. В импульсном СО2-лазере атмосферного давления с рентгеновской предыонизацией получен удельный энергосъем 51 Дж/л. Показана эффективность использования такого предыонизатора для других активных сред (СО-лазеров и эксимерных лазеров), что открывает новые перспективы в создании импульсно-периодических газовых лазеров.