Вид документа:

Стаття періодики

Нарушениe адгезии при абляции тонких пленок импульсным лазерным излучением / А.В. Феденев, Е.И. Липатов, В.Ф. Тарасенко и др. // Квантовая электроника. – 2004. – № 4. – С.375–380



Складова документа:
Квантовая электроника : научный журнал. № 4. Т. 34 / ФИАН . МИФИ и др. // Квантовая электроника. – Москва, 2004


Анотація:
Исследована зависимость воздействия импульсного лазерного излучения ИК и УФ диапазонов на тонкие металлические и композиционные пленки на стеклянной подложке от плотности энергии. При неоднородном распределении плотности энергии по сечению лазерного пучка и длительности импульса излучения ~300 нс на поверхности пленки можно выделить характерные области, размеры которых коррелируют с распределением энергии в пучке и соответствуют режимам испарения, плавления и разрушения под действием термических напряжений. При длительности импульса ~20 нс и однородном распределении плотности энергии по сечению лазерного пучка обнаружено нарушение адгезии металлических и композиционных пленок к стеклу вследствие возникающих термических напряжений без плавления подложки. Определены пороговые плотности энергии лазерного излучения, необходимые для нарушения адгезии пленок титана, нитрида титана, циркония, ниобия и нержавеющей стали на стеклянных подложках.