Вольпян О.Д. Исследование оптических пленок SIO2, полученных реактивным магнетронным распылением на переменном токе / О.Д. Вольпян, Ю.А. Обод, П.П. Яковлев // Оптический журнал. – 2004. – №7. – С.81–84
Складова документа:
Оптический журнал : научно-технический журнал. №7. Т. 71 / Гос. оптический ин-т (ГОИ) // Оптический журнал. – Санкт-Петербург, 2004
Анотація:
Приведены результаты оптических постоянных и скорости роста пленок SiO2, изготовленных магнетронным распылением Si-мишени в Ar:O2-среде током ультразвуковой частоты