Еременко А.Н. Использование двухмерного приборно-технологического моделирования для разработки и оптимизации технологии изготовления КМОП / А.Н. Еременко, Н.А. Зайцев, И.М. Романов // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №4. – С.44–48
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №4 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003
Анотація:
Показано применение двухмерного приборно-технологического моделирования для разработки и оптимизации КМОП-технологии с проектными нормами 0,5 мкм. Настройка моделей осуществлялась по экспериментальным образцам, изготовленным по серийной КМОП- технологии с проектными нормами 0,8 мкм. В процессе оптимизации были рассчитаны дозы легирования канала и LDD областей.