Рощин В.М. Сверхтонкие проводящие пленки состава WxC для кремниевых кантилеверов сканирующей зондовой микроскопии / В.М. Рощин // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №3. – С.44–49
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №3 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003
Анотація:
Рассмотрены технология формирования и свойства сверхтонких пленок карбида вольфрама в качестве проводящих покрытий для кремниевых кантилеверов сканирующих зондовых микроскопов
Тема:
- Ключові слова
- електронна мікроскопія, электронная микроскопия
- низькотемпературна плазма, низкотемпературная плазма
- лазерна спектроскопія, лазерная спектроскопия, laser spectroscopy
- спектроскопія, спектроскопия, spectroscopy, Spektroskopie, spectroscopie
- плазма, plasma
- мікроскопічна теорія, микроскопическая теория