Новиков С.Н. Изменение потенциала поверхности кремниевых пластин при термодесорбции воды / С.Н. Новиков, С.П. Тимошенков // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №3. – С.36–44
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №3 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003
Анотація:
Измерен потенциал поверхности кремниевых стандартных пластин, подвергнутых термообработке в широком диапазоне температур (от 50 до 900 град.С), методом статического конденсатора с ионизированным воздушным промежутком. Параллельно изучена термодесорбция воды с поверхности пластин с помощью масс спектрометра. Показано, что рост потенциала поверхности в диапазоне 200-550 град,С связан с разрушением гидратно-гидроксильного покрова. Отмечена корреляция изменения потенциала и прочности сращивания кремниевых пластин