Кемерчев Г.П. Исследование эффекта накопления заряда в пленках поликристаллического кремния МДПДП- структур при импульсной фотонной обработке / Г.П. Кемерчев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №2. – С.79–83
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №2 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003
Анотація:
Приведены результаты исследований эффекта накопления фотогенерированного заряда в пленках поликристаллического кремния после импульсной фотонной обработки МДПДП- структур с многослойным диэлектриком, полученные с помощью измерения вольт-фарадных характеристик. Показано, что емкость МДПДП - структур изменяется после обработки.