Измерение толщин тонких пленок методом спектральной интерферометрии / К. А. Лукин, Д. Н. Татьянко, О. В. Земляный, А. Б. Пих // Прикладная радиоэлектроника. – 2016. – №4. – C.350–354.
Складова документа:
Прикладная радиоэлектроника : научно-технический журнал. №4. Т. 15 / Акад. наук прикладн.радиоэлектр. // Прикладная радиоэлектроника. – Х., 2016