Вид документа:

Стаття періодики

УДК:

621.315.592; 621.3.049.77; 004.93’1

Рекомбінаційні властивості модифікованих кремнієвих шарів, отриманих методом газодетонаційного осадження / М. І. Клюй, А. В. Макаров, В. П. Темченко и др. // Прикладная радиоэлектроника. – 2014. – №4. – C.401–405.



Складова документа:
Прикладная радиоэлектроника : научно-технический журнал. №4. Т. 13 / АН Прикладной Радиоэлектроники, ХНУРЭ // Прикладная радиоэлектроника. – Х., 2014. – 81 с.