Вид документа:

Стаття періодики

УДК:

546.28

Оксанич А. П. Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур уменьшенной величиной концентрационной переходной области / А. П. Оксанич, Е. А. Седин // Прикладная радиоэлектроника. – 2012. – №1. – С. 100–103.



Складова документа:
Прикладная радиоэлектроника : научно-технический журнал. №1. Т. 11 / АН Прикладной Радиоэлектроники, ХНУРЭ // Прикладная радиоэлектроника. – Харьков, 2012