Оксанич А. П. Разработка автоматизированного устройства с программным управлением для шлифовки кремниевых структур с диэлектрической изоляцией / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, М. А. Ткаченко // Прикладная радиоэлектроника. – 2004. – №3. – С.79–83.
Складова документа:
Прикладная радиоэлектроника : научно-технический журнал. №3. Т. 3 / АН Прикладной Радиоэлектроники, ХНУРЭ // Прикладная радиоэлектроника. – Х., 2004