Сичинский Э.В. Особенности глубокого травления кремния через диэлектрическую маску в реакторе трансформаторно-связанной плазмы / Э.В. Сичинский // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №1
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №1 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003