Исследование распределения электрического потенциала на поверхности микроэлектронных структур методами сканирующей зондовой микроскопии / Г.А. Филатов Д.О. Максимов, А.В. Круглов, Д.А. Антонов и др. // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №1
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №1 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003