Теоретически исследовано возбуждение коротких электрических моноимпульсов волн пространственного заряда с широким частотным спектром, лежащим в терагерцовом диапазоне, в пленках нитридов.Указаны оптимальные значения приложенных постоянных электрических полей и равновесной концентрации электронов для возбуждения моноимпульсов. Динамика моноимпульсов слабо зависит от ширины пленки, а также от величины и формы входных возбуждающих импульсов. Короткие электрические моноимпульсы отличаются от доменов сильного электрического поля в диодах Ганна на объемных кристаллах с отрицательной дифференциальной проводимостью.