Викладено принципи створення МЕМС на основі теорії подібностей,
розмірностей фізичних величин, електромеханічних аналогій та конвергенції
різних фізико-хімічних феноменів, відомості про технології їх виробництва, що
дозволяють на єдиній кремнієвій підкладці виготовити мікромеханічні вузли
та деталі, а також електронні системи обробки інформації та системи
керування. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, що
проявляються в мікронному та нанорозмірному діапазонах і забезпечують
поліпшення електрофізичних та експлуатаційних характеристик виробів;
можливості створення нових матеріалів із формуванням їхніх властивостей
на атомно-молекулярному рівні, у тому числі інтелектуальних матеріалів:
математичні моделі для проектування чутливих елементів датчиків, балок,
мембран, зустрічно-штирьових резонансних систем та ін. Наведені відомості
про конструктивні та технологічні рішення формування та самоскладання
наноструктур, про інструментальні методи вивчення нанооб'єктів, технологічне
обладнання, що використовується у виробництві.
Для фахівців промисловості, пов'язаних з розробкою, виробництвом та
експлуатацією нової техніки. Може бути корисним магістрантам, аспірантам,
а також студентам вишів.