Использование пленки наноструктурированного серебра в многослойной контактной системе Tі/Mo/Ag кремниевых ФЭП / В. М. Коваль, А. В. Иващук, Ю. И. Якименко и др. // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – 2016. – №2(644). – С. 4–13. – (Известия высших учебных заведений)
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника : научно-технический журнал. №2(644). Т. 59 / НТУ Украины "Киевский политехнич.ин-т" // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – Киев, 2016. – (Известия высших учебных заведений)
Анотація:
В работе синтезированы многослойные контактные системы Ti/Ag и Ti/Mo/Ag с наноструктурованными пленками серебра двумя вакуумными методами - методом электронно-лучевого испарения и ВЧ-магнетронного распыления. С помощью данных атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифракции и масс-спектроскопии вторичных нейтралей в работе исследовано влияние метода нанесения и режимов отжига на процессы зернообразования в серебряных тонких пленках и массоперенос между металлическими слоями контактной системы. Установлено уменьшение удельного поверхностного сопротивления разработанных контактов и соответственно увеличение тока короткого замыкания гетеропереходных кремниевых солнечных элементов.