Киршина И. А. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов / И. А. Киршина, П. А. Окин, О. М. Филонов // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – 2014. – №11. – С. 51–56. – (Известия высших учебных заведений)
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника : научно-технический журнал. №11. Т. 57 / НТУ Украины "Киевский политехнич.ин-т" // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – Киев, 2014. – (Известия высших учебных заведений)
Анотація:
Проведен сравнительный анализ топологических решений на этапе проектирования микроэлектромеханических резонаторов. Изучена зависимость чувствительности колебательной системы от ее ориентации по отношению к базовым кристаллографическим осям. Разработаны рекомендации по выбору топологии планарной конструкции в зависимости от характера решаемых изделием задач.