Гордиенко Ю. Е. Радиационные эффекты в ближнеполевой микроволновой микроскопии полупроводников / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, А. С. Сорока // Радиотехника. – 2011. – №Вып. 164. – С. 180–189.
Складова документа:Шифр: 621.396(06) Р15
Радиотехника : всеукр. межведомств. науч.- техн. сб. Вып. 164 / МОН Украины, Харьк. нац. ун-т радиоэлектроники ; [ редкол. : В. М. Шокало ( гл. ред.) и др. ]. – Харьков : ХНУРЭ, 2011. – 213 с. : ил. – 40.00
Анотація:
Обоснованы особенности построения адекватной численной электродинамической модели перспективных конструкций резонаторных сенсоров с коаксильной измерительной апертурой для микроволновой микроскопии полупроводниковых структур. Учет излучения из измерительной апертуры и связанных с ним радиационных эффектов при при обработке первичных измерительных сигналов позволяет корректно формулировать требования к конструкциям и параметрам сенсоров, снижать систематические погрешности при интерпретации ближнеполевых измерений поверхностных и объемных микроструктур различной природы.
Тема:
- УДК
- 621.385.6 Надвисокочастотні лампи. Клістрони.Лампи генерування коливань. Магнетрони та інші мікрохвильові лампи, що впливають на час проходження сигналу Ключові слова
- радіаційні ефекти, радиационные эффекты
- мікрохвильова мікроскопія, микроволновая микроскопия
- електродинамічні моделі, электродинамические модели
- ближнєпольна оптична мікроскопія, ближнепольная оптическая микроскопия ХНУРЕ. Праці співробітників
- Гордієнко Юрій Омелянович, Гордиенко Юрий Емельянович
- Сорока Олександр Степанович, Сорока Александр Степанович