Булатов А.Н. Исследование адсорбата воздуха на твердотельных подложках методами атомно-силовой микроскопии / А.Н. Булатов, С.В. Хартов // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №4. – С.9–16
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №4 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Определена толщина слоя адсорбата воздуха, присутствующего на подложках в условиях атмосферы, методами зондовой микроскопии. Получены результаты для различных материалов подложек и уровней относительной влажности воздуха. Исследовано поведение адсорбата воздуха при его возмущении внешним механическим воздействием
Тема:
- УДК
- 531 Загальна механіка. Механіка твердих та жорстких тіл
- 621.38 Електроніка. Мікроелектроніка
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices
- мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
- поверхневі явища в твердих тілах, поверхностные явления в твердых телах