Вид документа:

Книга

УДК:

621.315.5
Шифр: 621.315.5 И 54
Импульсный отжиг полупроводниковых материалов / А. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов ; Академия Наук, Сиб. отд-ние ; Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. А. В. Ржанов. – М. : Наука, 1982. – 208 с. : ил. – 2,30


Статистика використання: Видач: 0