Вид документа:

Книга

УДК:

621.382+621.315.592
Шифр: 621.382 Д69
Дорфман В. Ф. Микрометаллургия в микроэлектронике : принципы технологии в полупроводниковом приборостроении / В. Ф. Дорфман. – Москва : Металлургия, 1978. – 272 с. : ил. – 3,30


Статистика використання: Видач: 0