Вид документа:

Книга

УДК:

621.3.032.26.002
Шифр: 621.3 П58
Попов В. К. Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии / В. К. Попов, С. Н. Ячменев. – М. : Радио и связь, 1985. – 127 с. : ил. – 0,45


Статистика використання: Видач: 0