Вид документа:

Книга

УДК:

621.382 + 621.315.592
Шифр: 621.382 Ф50
Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова и др. ; под ред. Б. Д. Луфт. – М. : Радио и связь, 1982. – 137 с. : с ил. – 0,50


Статистика використання: Видач: 0