Вид документа:

Книга

УДК:

621.382(07)
Шифр: 621.382(07) Б82
Борисенко А. С. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : учебник / А. С. Борисенко, Н. И. Бабыкин. – М. : Машиностроение, 1983. – 320 с. : с ил. – 1,00


Статистика використання: Видач: 1