Дисертація присвячена дослідженню процесів у неоднорідних металодіелектричних мікроструктурах, розташованих у кристалі інтегральних мікросхем, при впливі імпульсних електромагнітних полів. При побудові математичної моделі та виявленні мехханізму впливу імпульсних електромагнітних полів на мікроструктури використовувався радіофізичний підхід до задачі впливу імпульсних електромагнітних полів на інтегральні мікросхеми. У дисертации розглянуто процеси взаємодії мікроструктурних елементів з падаючою електромагнітною хвилею. Експериментальні дослідження дозволили виявити функціонально значущі МСЕ при впливі імпульсних електромагнітних полів на ІМС у хвилеводі.Установлено вплив поляризаційного фактору на характер розвитку деградаційних процесів у тонких металевих плівках.Розроблено чисельну дифракційну модель розсіяння падаючої електромагнітної хвилі на металодіелектричних структурах.