Шифр: 621.3 Н40
Невлюдов И. Ш. Микроэлектромеханические системы и нанотехнологии / И. Ш. Невлюдов, А. А. Андрусевич, В. А. Палагин ; МОН Украины. – Харьков : Коллегиум, 2007. – 268 с. – ISBN 978-966-8604-32-4. – 25,00
Невлюдов И. Ш. Микроэлектромеханические системы и нанотехнологии / И. Ш. Невлюдов, А. А. Андрусевич, В. А. Палагин ; МОН Украины. – Харьков : Коллегиум, 2007. – 268 с. – ISBN 978-966-8604-32-4. – 25,00
Статистика використання: Видач: 21
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 6 | 6 |
Тема:
- УДК
- 621.3.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
- 620.3 Нанотехнологія Ключові слова
- інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen
- нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology
- комплементарна логіка на транзисторах метал-окид-напівпровідник, КМОН, комплементарная логика на транзисторах металл-оксид-полупроводник,КМОП, CMOS-technology
- мікросистемна техніка (мікросистемотехніка), МСТ, микросистемная техника (микросистемотехника)
- мікроелектромеханічні системи, МЕМС, микроэлектромеханические системы, МЭМС
- мікроакустоелектромеханічні системи, МАЕМС, микроакустоэлектромеханические системы, МАЭМС
- мікрооптоелектромеханічні системи, МОЕМС, микрооптоэлектромеханические системы, МОЭМС Ключові слова латиницею
- Lithographic, galvanoformung, abformung, LIGA ХНУРЕ. Праці співробітників
- Андрусевич Анатолій Олександрович, Андрусевич Анатолий Александрович, Andrusevych Anatoliy Olexandrovych
- Невлюдов Ігор Шакирович, Невлюдов Игорь Шакирович, Nevliudov Igor Shakirovych
- Палагін Віктор Андрійович, Палагин Виктор Андреевич, Palagun Victor Andriyovych