Шифр: 621.382 М80
Моро У. Микролитография: принципы, методы. материалы : в 2 ч. : пер. с англ. Ч. 1 / У. Моро ; под ред. Тимерова Р. Х. – М. : Мир, 1990. – 632 с. : ил. – ISBN 5-03-001717-8. – 4,50
Моро У. Микролитография: принципы, методы. материалы : в 2 ч. : пер. с англ. Ч. 1 / У. Моро ; под ред. Тимерова Р. Х. – М. : Мир, 1990. – 632 с. : ил. – ISBN 5-03-001717-8. – 4,50
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 1 | 1 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- резистори, резисторы, resistors
- лазерна плазма, лазерная плазма
- плазма, plasma
- радіація, радиация
- лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography
- напівпровідникові нелінійні резистори, полупроводниковые нелинейные резисторы
- напівпровідникова плазма, полупроводниковая плазма
- металічна плазма, металлическая плазма
- нанолітографія, нанолитография
- напівпровідникові резистори, полупроводниковые резисторы