П77
Притчин С. Е. Удосконалення технології вирощування зливків кремнію з рівномірним розподілом кисню : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 "Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки" / Притчин Сергій Емільович ; Кременчуцький ін-т економіки та нових технологій. – Харків, 2003. – 19 с.
Притчин С. Е. Удосконалення технології вирощування зливків кремнію з рівномірним розподілом кисню : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 "Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки" / Притчин Сергій Емільович ; Кременчуцький ін-т економіки та нових технологій. – Харків, 2003. – 19 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Метою дослідження було комплексне експриментальне вивчення процесів впровадження і розподілу кисню у зливках; наукове обгрунтування відповідних методик, алгоритмів та апаратурних рішень для контролю технологічних параметрів вирощування зливків; вивчення впливу на цей процес технологічних параметрів; наукове визначення оптимальних параметрів технологічних процесів вирощування зливків великого діаметра, що містять задану концентрацію кисню, рівномірного розподіленого по довжині. Задачами дослідження є:
1. Розроблення та удосконалення методики вимірювання нерівномірності концентрації кисню у зливках.
2. Розроблення способу та пристрою контролю швидкості вирощування зливка кремнію, частоти обертання тигля, що забезпечують необхідну точність контролю.
3. Кількісна оцінка впливу частоти обертання тигля та швидкості вирощування зливка на процеси впровадження і розподілу кисню при вирощуванні зливків великого діаметра.
4. Розроблення способу та пристрою контролю діаметра зливка кремнію у процесі його вирощування на всіх технологічних стадіях росту, з точністю близько 1 мм.
5. Розроблення науково обґрунтованого способу автоматичного вирощування зливка кремнію з регулюванням діаметра та рівномірним розподілом концентрації кисню по довжині.
6. Розроблення алгоритму керування і програмного забезпечення елементів системи автоматичного вирощування зливка (АКЗ), який забезпечує одержання зливків кремнію із заданими геометричними параметрами та рівномірною концентрацією кисню.
1. Розроблення та удосконалення методики вимірювання нерівномірності концентрації кисню у зливках.
2. Розроблення способу та пристрою контролю швидкості вирощування зливка кремнію, частоти обертання тигля, що забезпечують необхідну точність контролю.
3. Кількісна оцінка впливу частоти обертання тигля та швидкості вирощування зливка на процеси впровадження і розподілу кисню при вирощуванні зливків великого діаметра.
4. Розроблення способу та пристрою контролю діаметра зливка кремнію у процесі його вирощування на всіх технологічних стадіях росту, з точністю близько 1 мм.
5. Розроблення науково обґрунтованого способу автоматичного вирощування зливка кремнію з регулюванням діаметра та рівномірним розподілом концентрації кисню по довжині.
6. Розроблення алгоритму керування і програмного забезпечення елементів системи автоматичного вирощування зливка (АКЗ), який забезпечує одержання зливків кремнію із заданими геометричними параметрами та рівномірною концентрацією кисню.