Шифр: 621.382 Р34
Резвый Р. Р. Эллипсометрия в микроэлектронике / Р. Р. Резвый. – М. : Радио и связь, 1983. – 120 с. : ил. – 0,40
Резвый Р. Р. Эллипсометрия в микроэлектронике / Р. Р. Резвый. – М. : Радио и связь, 1983. – 120 с. : ил. – 0,40
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 3 | 3 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
- вакуумна мікроелектроніка, вакуумная микроэлектроника
- еліпсометрія, эллипсометрия
- напівпровідникова мікроелектроніка, полупроводниковая микроэлектроника
- мікроелектроніка НВЧ, микроэлектроника СВЧ