Шифр: 621.382.8 Т22
Таруи Я. Основы технологии сверхбольших интегральных схем : пер. с япон. / Я. Таруи ; под ред. Ржанова В. Г. – Москва : Радио и связь, 1985. – 480 с. : ил. – 2,70
Таруи Я. Основы технологии сверхбольших интегральных схем : пер. с япон. / Я. Таруи ; под ред. Ржанова В. Г. – Москва : Радио и связь, 1985. – 480 с. : ил. – 2,70
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 3 | 3 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС
- кристали, кристаллы, Krisrtalle, crystals
- монокристали, монокристаллы
- лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography
- лазерні кристали, лазерные кристаллы
- напівпровідникові кристали, полупроводниковые кристаллы
- нанолітографія, нанолитография
- інтегральні схеми НВЧ, интегральные схемы СВЧ