Шифр: 621.382 Т38
Технология СБИС : пер. с англ. : в 2-х кн. Кн. 1 / К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац и др. ; под ред. Зи С. – М. : Мир, 1986. – 404 с. : ил. – 3,00
Технология СБИС : пер. с англ. : в 2-х кн. Кн. 1 / К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац и др. ; под ред. Зи С. – М. : Мир, 1986. – 404 с. : ил. – 3,00
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 12 | 12 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- електронні прилади, электронные приборы, electronic devices
- надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС
- дифузія, диффузия
- лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography
- матричні НВІС, матричные СБИС
- інтеграція, интеграция, integration
- нанолітографія, нанолитография
- технологія, технология
- імплантація, имплантация
- багатошарові циліндричні плівки, многослойные цилиндрические пленки